净化车间的洁净度级别通常分为：百级、千级、万级、十万级和三十万级。十万级净化车间一般适用于电子仪器仪表、计算机房、半导体厂、印刷厂、汽车工业、航天工业、光刻和微机制造等行业中。十万级净化车间的要求不仅仅是需要空气洁净度为十万级，还需要保证能达到除静电的效果。在十万级净化车间中，尘粒1大允许数≥0.5微米的粒子数不允许超过350万个；换气次数：10-15次/小时；压差：主车间相对相邻房间≥5pa；温度：冬季＞16℃±2℃；夏季小于26℃±2℃；相对湿度：45-65%（RH）；噪声≤65dB（A）；新风补充量：总送风量的20%-30%；照度大于等于300Lux。
净化车间主要作用在于控制产品所接触的大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，以保证产品质量，净化车间，此空间我们称之为净化车间。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重，主体结构的耐久性需要与室内装备和装修水平相协调，净化车间 彩钢板，并具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷的性能；洁净室顶棚，墙面和地板的材料必须是不易破1裂、不易沾颗粒，以及几乎不起尘的。另外根据房间不同的工作条件，还必须考虑材料的化学性能是否稳定；洁净室的高度以净高控制，净高应以100mm为基本模数；净化车间厂房的变形缝应尽量避免穿过洁净区；送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
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